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半自动探针台(核心货物)
套
是否接受进口
拒绝进口
品牌
森东宝、烽悦科技、莫兰特
型号
CP200、FY-8、MLT-S-8
技术规格及参数
1台8英寸半自动探针台,支持手动上片,自动测试。X-Y轴定位系统:行程250mm*350mm,X-Y轴移动分辨率:0.1μm,定位精度≤±2um、重复定位精度:≤1um,X-Y移动速度:≥70mm/s。Z轴定位系统:行程20mm,Z轴移动分辨率:0.1um,定位精≤±2um、重复定位精度:≤1um,Z轴移动速度:≥20mm/s。T旋转定位系统:Theta角度行程:≥15°,Theta角度分辨率:0.0001°空气弹簧减震系统,确保画面不抖动。自动扫描对准功能CCD1个。电动显微镜系统1套,XYZ轴行程:50*50*110mm,0.58-7.5连续变倍,43.5FPS视频帧率,兼容Top-Hit,达到光完全屏蔽,兼高压测试,标配5X物镜。机台保留R232/485/TCP/IP/GPIB通讯接口,支持二次编程。测试软件1套,支持自动测量Die size及生成map图,可测试圆片,测试范围可选,任意wafer map编辑,具备接触缓冲功能,针痕稳定,自动MARK点,(0,0)点定位功能,一键可完成测试。真空泵1台:真空度:-400mm/Hg,可24小时运转,为载物台提供真空吸附力所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品(包括零部件),如安装或配置了软件的,须为正版软件。
质保期
3年质保
售后要求
卖方安排专业工程师上门安装调试,以及设备培训,直至买方能独立使用为止,设备质保期3年,期间提供5*8小时服务热线,2小时内对买方需求作出响应,必要时可当日到达现场,若买方需对设备进行升级卖方应全力配合,质保期过后卖方可提供质量可靠,价格优惠的原厂配件或耗材。
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